Scheduling-Probleme sind ausführlich in den letzten fünfzig Jahren auf Grund ihrer wesentliche Rolle in Fertigungsumgebungen und verschiedenen Dienstleistungsbereichen untersucht wurden. Effizienter Einsatz der mit dem entsprechenden Sequenzierung unterstützter Ressourcen wurde als wichtiges mathematisches Optimierungsproblem erkannt. Eine Simulation ist ein sehr leistungsfähiges Werkzeug, das verwendet wird, um sehr komplexe Produktionssysteme zu beschreiben und zu veranschaulichen. Um die Integration eines Optimierungsverfahrens in einem Simulationsmodell, das einen nahezu optimalen Produktionsplan darstellt, zu integrieren wird eine flexible und effektive Steuerung der Produktionsstätte benötigt. In dieser Arbeit wird ein Hybrid-Flow-Shop Scheduling Problem bei der Herstellung von Halbleitern analysiert. Mehrere Zielfunktionen werden durchgeführt, nämlich die Minimierung der Produktionsdauer und die Unpünktlichkeit. Es wird ein integrierter simulationsbasierter Optimierungsansatz entwickelt, um das Problem zu lösen.